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分类:表面分析技术

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表面分析技术系指测量时,能控制讯号来自材料之表面浅层的一种分析技术。常见的方法多以测量来自表面的光子电子离子讯号。一般来说,光子以掠角(Grazing-incident angle)入射进入材料表面时,可取得仅来自表面浅层之讯号。电子与离子讯息则因能逃脱出材料的,皆来自浅层表面,因而其探测深度分别约为数(与电子能量有关)与表面一至二层原子深度。

另见材料科学


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